JIS H0614-1996 镜面硅片的目视检查
作者:标准资料网
时间:2024-05-10 09:33:20
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【英文标准名称】:Visualinspectionforsiliconwaferswithspecularsurfaces
【原文标准名称】:镜面硅片的目视检查
【标准号】:JISH0614-1996
【标准状态】:现行
【国别】:日本
【发布日期】:1996-01-01
【实施或试行日期】:
【发布单位】:日本工业标准调查会(JP-JISC)
【起草单位】:TechnicalCommitteeonElectronics
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:薄膜;镜子;检验;表面性质;无损检验;镜面反射;膜(物态);硅;外观检查(试验);衬底(绝缘)
【英文主题词】:visualinspection(testing);non-destructivetesting;inspection;;;thinfilms;;specularreflection;mirrors;surfaceproperties
【摘要】:この規格は,半導体素子を形成することを目的としたシリコンウェーハをケミカル·メカニカルポリッシュによって鏡面加工仕上げしたウェーハ(以下,ウェーハという。)の表面(鏡面及び裏面)の目視による外観検査について規定する。
【中国标准分类号】:H81
【国际标准分类号】:29_045;77_120_99
【页数】:8P;A4
【正文语种】:日语
【原文标准名称】:镜面硅片的目视检查
【标准号】:JISH0614-1996
【标准状态】:现行
【国别】:日本
【发布日期】:1996-01-01
【实施或试行日期】:
【发布单位】:日本工业标准调查会(JP-JISC)
【起草单位】:TechnicalCommitteeonElectronics
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:薄膜;镜子;检验;表面性质;无损检验;镜面反射;膜(物态);硅;外观检查(试验);衬底(绝缘)
【英文主题词】:visualinspection(testing);non-destructivetesting;inspection;;;thinfilms;;specularreflection;mirrors;surfaceproperties
【摘要】:この規格は,半導体素子を形成することを目的としたシリコンウェーハをケミカル·メカニカルポリッシュによって鏡面加工仕上げしたウェーハ(以下,ウェーハという。)の表面(鏡面及び裏面)の目視による外観検査について規定する。
【中国标准分类号】:H81
【国际标准分类号】:29_045;77_120_99
【页数】:8P;A4
【正文语种】:日语
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